In molte applicazioni di gas ultrapuri, come l'industria dei semiconduttori, l'umidità residua nel gas è fondamentale per il corretto funzionamento del processo. Il monitoraggio continuo dell'umidità è sempre stato un problema e richiede analisi di umidità sofisticate o costose tecniche analitiche. Attualmente, tuttavia, il MISSELL introduce sul mercato una soluzione semplice, economica e abbastanza efficace per misurare online il punto di rugiada con un limite inferiore di -120 °C (equivalente a meno di 1 ppb).V). Basandosi su anni di esperienza nel settore della produzione e della verifica di sensori di punto di rugiada a impedanza, Pura Transmitter combina materiali e processi di fabbricazione industriali standard per creare il primo trasmettitore a basso costo per l'industria della produzione di semiconduttori e applicazioni di gas ultrapuri. Punti salienti Punto di rugiada minimo di misurazione -120°C (1 ppb)V) Stabilità della misurazione, buona ripetibilità Dispositivo di campionamento altamente integrato Uscite analogiche e digitali Installazione semplice Interfaccia di processo VCR Compatto e compatto Unità di visualizzazione/allarme opzionale
Indicatori tecnici
Sensori Tipo di sensore Sensore di umidità in ceramica Scala -120 ~ -40°C Punto di rugiada (verificato fino a -100 ~ -40°C) Precisione ±1°C -40 ~ -60°C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ±4°C -101 ~ -120°C (stima) risoluzione 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C pressione minimo 10-9 torr; Massimo 24 MPa Flusso di gas 1 ~ 5 Nl / min elettrico Alimentazione Normalmente 24 V DC, minimo 10 V ~ massimo 28 V, corrente massima 25 mA Uscita 4-20 mA di uscita, gamma di corrispondenza regolabile con software dedicato, gamma di regolazione da 1 a 80°C (disponibile di serie) Carico massimo = 100 Ω + 50 Ω x (alimentazione V -8) Errore di output L'errore di uscita standard è il seguente: 23 mA = guasto del sensore; 20 mA = limite superiore; 4 mA = limite inferiore Proprietà meccaniche Custodia del sensore Acciaio inossidabile, lucidatura interna galvanizzata 0,1-0,2 Ra µm Porta di connessione a gas Premium o OEM: interfaccia VCR di ¼' m Tipo sensore Pura: interfaccia VCR di ½' m Configurazione dell'installazione Modello Premium o OEM: lunghezza 120,00 mm, sigillatura frontale della porta della via dell'aria. Nessuna necessità di riservare spazi di condotta Due fori di montaggio M4 x 0,7, profondità 7 mm, con spazi di 20 x 20 mm Tipo sensore Pura: per le porte VCR di ½' fornite dall'utente dimensione Modello Premium o OEM: 120 x 35 x 150 mm Sensore Pura 型: 132 x 35 mm Peso Modello Premium o OEM: 450g Sensore Pura 型: 180 grammi Imballaggio Pura: Imballaggio a doppio strato, sigillatura per gas inerte Pura OEM o tipo Pura Sensor: imballaggio a strato singolo Tutti gli accessori opzionali: imballaggio indipendente Tipo Sensor con copertura protettiva sul chip del sensore per trasporto e funzionamento