◆Microscopio a forza atomica commerciale per la scansione mobile combinata di sonde e campioni;
◆Utilizzando un banco di scansione orizzontale a circuito chiuso indipendente a tre assi per realizzare una vasta gamma di scansioni ad alta precisione;
◆Scansione indipendente a tre assi,XYZNon si influenzano reciprocamente, ideali per i materiali tridimensionali e il controllo della forma;
◆Il banco di controllo elettrico per il movimento dei campioni e il banco di sollevamento, che può essere programmato in posizioni multiple per un rilevamento rapido e automatizzato;
◆Progetto della testa di scansione a porta-dragon, base in marmo, supporto ad assorbimento vuoto e magnetico;
◆Il motore controlla automaticamente il modo intelligente di inserimento della rilevazione automatica della ceramica elettrica pressurizzata per proteggere la sonda e i campioni;
◆Microposizionamento ottico assistito ad alta frequenza, sonde di osservazione e posizionamento in tempo reale e aree di scansione del campione;
◆Il banco di scansione elettrica a anello chiuso non richiede correzioni non lineari, la precisione della nanocaratterizzazione e della misurazione è superiore99.5%- Ma.
Parametri tecnici
Modalità di lavoro | Modalità contatto, modalità tocco | Peso del campione | ≤0.5Kg |
Modalità di selezione | Frizione/forza laterale, amplitudine/fase, forza magnetica/elettricità statica | Elevatore Z | Controllo dell'azionamento del motore a passo, lunghezza minima di passo 10nm |
Curva dello spettro di forza | Curva di forza F-Z, curva RMS-Z | Il percorso di sollevamento Z | 15mm (opzionale 20mm, 25mm) |
Scansione XY | Scansione guidata da campioni, banco di scansione a livello di tensione chiusa | Posizionamento ottico | Obiettivo ottico 5X (obiettivo opzionale 10X/20X) |
Modalità di scansione Z | Scansione azionata da sonda | telecamera | CCD digitale da 5 megapixel |
Gamma di scansione XY | Circolo chiuso 100 × 100um | Velocità di scansione | 0.6Hz~30Hz |
Scala di scansione Z | 5um | Angolo di scansione | 0~360° |
Risoluzione di scansione | Circolo chiuso XY verso 0,5 nm, Z verso 0,05 nm | Ambiente operativo | Sistemi operativi Windows XP/7/8/10 |
Cassa campioni XY | Controllo dell'azionamento del motore a passo, precisione di movimento 1um | Interfaccia di comunicazione | USB2.0/3.0 |
XY viaggio mobile | 100 x 100 mm (opzionale 200 x 200 mm, 300 x 300 mm) | Struttura degli strumenti | Testa di scansione a porta dragon, base in marmo |
Carrier campioni | Diametro 100mm (opzionale 200mm, 300mm) | Modalità di ammortizzazione | Sospensione a molla (ammortizzatore attivo opzionale) |
Casi di applicazione
Wafer di arseniuro di gallio/Intervalo di scansione0.9µm×0.9µm/Sa=2.15nm, Sq=2.69nm